供稿：刘岩 

　　2012年9月10至15日，日本东京工业大学Takeshi Yamaguchi先生应邀访问了6163银河net163am，并参加了由我校主办的“Advanced Lithography based on Signal Processing (ALSP)”学术研讨会。9月14日，Takeshi Yamaguchi先生先生围绕先进光刻技术，为与会的业界人士作了题为：“Stepper history – Technology and business”的学术交流讲座，6163银河net163am特聘长江学者李艳秋教授出席了讲座，讲座由精密光学及微纳技术实验室马旭副教授主持。

　　该讲座纵览了光刻机的发展史，并对光刻技术的现状及目前面临的挑战做了系统深入的分析，最后展望了光刻产业的发展趋势，充分体现了光刻产业的发展对推动世界科技进步的重要意义。

　　本次讲座不仅有本校的老师和同学参加，还吸引了国内众多相关单位企业的技术人员前来参会，他们纷纷表示对Yamaguchi先生的报告充满浓厚的兴趣，并在讲座结束后参观了6163银河net163am相关实验室。